微光显微镜（EMMI）
需求：对半导体IC器件通电后发光点位进行定位，进而分析其器件失效问题用于改进工艺与质量控制
痛点：受半导体制程影响，其失效点位发光波长在1μm以上，且发光微弱，需要高探测灵敏度
方案原理：
半导体IC器件在电动平台上，通电后失效点发光，通过高灵敏度深度制冷红外相机+高倍率显微镜系统经长时间积分可以捕获到微弱的光信号，用于判断半导体失效点位。并标记出失效位置
结果呈现:
器件正负极加上电压，产生微弱光信号
通过红外相机1s以上的积分时间，可以获得如下所示图像
可以看出最终器件失效点位被定位在了图像中
总结:
通过高灵敏度深度制冷红外相机配合显微镜系统，对半导体器件通电发光的失效情况进行了探测，将问题点位清晰的标识了出来，帮助用户对器件失效情况进行定位
